究極の原子分解能を持つ電子顕微鏡。価格は5億円

GRAND ARM 2(JEM-ARM300F2)

　日本電子株式会社は、新型原子分解能分析電子顕微鏡「GRAND ARM 2(JEM-ARM300F2)」を2月に発売する。標準価格は5億円。

　GRAND ARM 2は、新型対物レンズポールピース(FHP2)を搭載し、従来機よりも2倍以上のX線検出感度(1.4sr)を実現。ハード/ソフトマテリアルにおける分解能をさらに高めた。低色収差&低球面収差係数の光学定数により、高加速から低加速まで、さまざまな加速電圧で超高空間分解能と高感度X線分析を可能としている。

　また、高感度のX線分析が可能な対物ポールピースWGPも搭載できるほか、JEOL製収差補正制御システムにより、簡便に高速収差補正が可能になった。

　さらに、エネルギー幅が小さく安定した陰極電界放出形電子銃(Cold-FEG)や、気流、室温変化、騒音などの外乱の影響を低減するエンクロージャーカバーを標準搭載している。

　おもな仕様は、保証分解能がHAADF-STEM像で0.053nm(ETAコレクタ搭載、FHP2ポールピース時)、加速電圧は標準で300kVおよび80kV、エネルギー分散形X線分析装置は158平方mm(2台)で1.4sr(FHP2ポールピース時)。