ショートコース1(デバイス・プロセス技術)「Advanced CMOS Technologies for 1 nm & Beyond(1nm以下のCMOS技術)」の講演タイトルと講演者の一覧。CMOS向けトランジスタ技術、EUVリソグラフィ技術、ロジック用トランジスタのプロセス技術、多層配線技術、先進パッケージング技術、3次元集積化技術などの講演を予定する。VLSIシンポジウムの公式サイトから抜粋したもの
