EUVリソグラフィとArF液浸リソグラフィ(マルチパターニング)の、プロセスコスト(レイヤ当たり)の比較。EUV露光機メーカーのASMLが2016年7月に米国サンフランシスコで開催されたイベント「SEMICON West」で発表した資料から
