2018年も半導体はおもしろい(後編)(4/6)

2017年12月に開催された国際学会IEDMのショートコースでIBMが示したGAA FETの概要。左上がナノシート構造、左下がナノワイヤ構造の断面を電子顕微鏡で観察した画像