Samsung、歩留まり良好な8nm FinFETの量産準備完了

　Samsung Electronicsは18日(韓国時間)、8nm FinFETプロセスの製造技術「8LPP(Low Power Plus)」による生産準備が整ったことを発表した。

　8LPPでは、1つ前の10nm FinFETプロセスの10LPPよりも金属配線間のピッチを狭めることができ、面積を最大10%削減、また最大10%の低消費電力化も達成できるという。

　同社によれば、8LPPはすでに実績のある10nmプロセス技術を応用できるため、即座に安定した歩留まりで生産を行なえるとのこと。8LPPの認定作業は予定よりも3カ月前に終え、生産を開始した。

　一方で、SamsungはEUVリソグラフィを採用した7nmプロセスのFinFET技術も今年(2017年)6月のVLSI技術シンポジウムにて発表しており(Samsung、EUVリソグラフィ採用の7nm FinFET技術を公表)、同プロセス技術による量産は2018年以降と言われている。