3D NANDフラッシュの製造プロセスにおける高アスペクト比のエッチング(HARC(High Aspect Ratio Contact)エッチング)とHARCコストが製造プロセスに占める比率の予測。SamsungがIEDM 2023で公表した講演スライドから(講演番号35-1)
