ワード線コンタクトをワード線の中央部に配置し、ワード線の左右2方向とつなぐ。さらに周辺回路とワード線デコーダを別々のウェハに形成し、貼り合わせる。SamsungがIEDM 2023で公表した講演スライドから(講演番号35-1)

ワード線コンタクトをワード線の中央部に配置し、ワード線の左右2方向とつなぐ。さらに周辺回路とワード線デコーダを別々のウェハに形成し、貼り合わせる。SamsungがIEDM 2023で公表した講演スライドから(講演番号35-1)