3D NANDフラッシュセルの構造比較。左は断面構造の概念図、右は試作セルの断面構造を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察した画像。(a)と(c)は従来の多結晶シリコン(poly-Si)をチャンネル材料とした構造。(b)と(d)は単結晶シリコン(single-crystal Si)。キオクシアがIMW 2022で公表した論文から(論文番号5.2)
