犠牲エッチング用の溝(トレンチ)を挿入する間隔を広げることで、密度を上げようとする試み。Micron TechnologyがIMW 2022で公表した論文から(論文番号1.1)

犠牲エッチング用の溝(トレンチ)を挿入する間隔を広げることで、密度を上げようとする試み。Micron TechnologyがIMW 2022で公表した論文から(論文番号1.1)