ステアケースの構造図とトリム技術の工程。下図の黒い物体がフォトレジスト。エッチングによってフォトレジストを横方向に削り、ステアケースの次の段を露出させていく。Lam Researchが2016年3月にSemicon Chinaで講演したときのスライドから

ステアケースの構造図とトリム技術の工程。下図の黒い物体がフォトレジスト。エッチングによってフォトレジストを横方向に削り、ステアケースの次の段を露出させていく。Lam Researchが2016年3月にSemicon Chinaで講演したときのスライドから