CBA(CMOS directly Bonded to Array)技術による工程(接合段階)。メモリセルアレイを形成したウェハ(上)を反転させ、CMOS周辺回路(下)と接合用銅電極同士をハイブリッド接合する。WDが基調講演で発表したスライドから

CBA(CMOS directly Bonded to Array)技術による工程(接合段階)。メモリセルアレイを形成したウェハ(上)を反転させ、CMOS周辺回路(下)と接合用銅電極同士をハイブリッド接合する。WDが基調講演で発表したスライドから