次世代トランジスタと次世代3D NANDを実現するデバイス・プロセス技術【VLSIシンポジウム前日レポート】(11/20)

imecが開発したモノリシック製造の相補型FET(CFET)(番号T1-3)。ゲートピッチは48nm。2023年4月25日に開催された記者会見の資料から