次世代トランジスタと次世代3D NANDを実現するデバイス・プロセス技術【VLSIシンポジウム前日レポート】(10/20)

Samsung Electronicsが開発したGAAトランジスタによる3nmノードのファウンダリ向け製造プラットフォーム(番号T1-2)。2023年4月25日に開催された記者会見の資料から