3D NANDフラッシュの高密度化を側面支援する「第3」のスケーリング(4/11)

2015年から2021年までの3D NANDフラッシュメモリの開発ロードマップ(製造パラメータ)。Applied MaterialsがIMW 2018(2018年5月)で発表した講演のスライドから