EUV光源のコレクタ反射鏡におけるパルス数(横軸)と反射率(縦軸)の関係。EUV光源の出力は250W。右下は2016年におけるコレクタ反射鏡の特性。EUV光源の出力は80W。ASMLが2018年12月に国際学会IEDMで発表した論文から
