EUV光源の出力と製造スループットの関係。ペリクルなしだと205Wの出力で125枚/時間(WPH)を達成できる。ペリクルありだと250Wと高い出力が必要になるとともに、ペリクルとガスロック用メンブレンの透過率を向上させなければならない。ASMLが2018年12月に国際学会IEDMで発表した論文から
