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EUV光源における収集器(コレクタ)の概要と実物の写真。ASMLが2018年12月に国際学会IEDMのショートコースで講演したスライドから
後藤弘茂のWeekly海外ニュース
Intelの次世代CPUマイクロアーキテクチャ「Sunny Cove」
2018年12月17日
Samsung、EUV 7nm LPPの開発が完了。ArF液浸露光から大幅コストダウン
2018年10月18日
Samsung、2020年にEUV露光による半導体量産を開始
2018年9月4日
AMD、次期「Zen 2」および「Navi」はTSMCの7nmプロセスで製造へ
2018年8月28日
福田昭のセミコン業界最前線
完成に近づいた、SamsungのEUVリソグラフィ採用7nm半導体量産技術
2018年6月29日
iPhone 9世代の製造技術7nmプロセスがいよいよ本格化
2017年11月15日
連載福田昭のセミコン業界最前線
IntelとSamsungが7nmロジック量産への適用を目指すEUV露光技術
2017年3月17日
両極端に分かれたIBMとTSMCの次々世代半導体製造技術
2016年12月9日
見えてきた7nm以降の量産用EUV露光技術
2019年1月15日