2,000名近い参加者と過去最高の投稿件数を集めた国際電子デバイス会議(IEDM)(10/24)

セッション28「半導体バイス技術と半導体製造の永続性」の概要。半導体デバイスの微細化と量産規模の拡大が地球環境、とくに温暖化に与える影響が無視できなくなってきた