3nm世代以降のトランジスタ技術(断面構造図)のオプション。上の3つはFinFET、下は左からナノシートFET、フォークシートFET、CFETである。imecが2019年12月に国際学会IEDMで発表した論文(29.4)から

3nm世代以降のトランジスタ技術(断面構造図)のオプション。上の3つはFinFET、下は左からナノシートFET、フォークシートFET、CFETである。imecが2019年12月に国際学会IEDMで発表した論文(29.4)から