スタンダードセルの微細化ロードマップ。金属配線ピッチ(MP)、フィンピッチ(FP)、コンタクトゲート(ポリシリコン)ピッチ(CPPおよびCGP)、セル高さ(CH)の推移と将来予測である。imecが2019年12月に国際学会IEDMで発表した論文(36.5)から