試作した埋め込みPCMメモリセルの断面を電子顕微鏡で観察した画像。コンタクトと金属配線の間に記憶素子を形成した。中国科学アカデミーとSMICの共同研究グループが2018年12月に国際学会IEDMで発表した論文から

試作した埋め込みPCMメモリセルの断面を電子顕微鏡で観察した画像。コンタクトと金属配線の間に記憶素子を形成した。中国科学アカデミーとSMICの共同研究グループが2018年12月に国際学会IEDMで発表した論文から