Samsung、業界初のEUV採用DRAMモジュールの出荷開始

　Samsung Electronicsは25日(韓国時間)、業界初となるEUV(極紫外線)露光技術を採用したDDR4 DRAMモジュール100万枚の出荷を発表した。

　EUVを適用して製造されたのは10nmクラスプロセス(D1x)のDDR4モジュールで、DRAM生産にEUVを採用した初の事例であるとする。Samsungでは、EUVの採用によってマルチパターニングの工程を削減し、パターニングの精度、性能、歩留まりの向上、および開発時間短縮を可能にするとしている。

　次世代の第4世代10nmクラスプロセス(D1a)およびアドバンスド14nmクラスプロセスのDRAMにもEUVが適用される予定で、Samsungでは2021年よりD1aベースの16Gb DDR5およびLPDDR5メモリ量産を開始する見込み。需要増加を見越して、2020年下半期には韓国・平澤工場にて第2半導体製造ラインの稼働を開始する。