試作した強誘電体トランジスタ(ナノシート構造)の長期信頼性。左は書き換えサイクル寿命試験、中央はデータ保持試験の結果。右はトランジスタの構造図。TSMCなどの共同研究グループが2022年6月に国際学会VLSIシンポジウムで公表したスライドから(講演番号T13-3)

試作した強誘電体トランジスタ(ナノシート構造)の長期信頼性。左は書き換えサイクル寿命試験、中央はデータ保持試験の結果。右はトランジスタの構造図。TSMCなどの共同研究グループが2022年6月に国際学会VLSIシンポジウムで公表したスライドから(講演番号T13-3)