技術世代(技術ノード)と、製造プロセス(ウェハ処理)コストの推移(予測)。微細化によって世代ごとの30%もコストが上昇する。研究開発機関のimecが2019年6月に国際学会VLSI技術シンポジウムで発表した論文(T15-3)から