金属配線工程で製造可能な酸化インジウムチャンネルFinFET(Purdue Univ.、講演番号T2-4)。出典:VLSI技術シンポジウム委員会

金属配線工程で製造可能な酸化インジウムチャンネルFinFET(Purdue Univ.、講演番号T2-4)。出典:VLSI技術シンポジウム委員会