SRAMセルの概要。左上(a)は回路図。シリコンSRAMと同じ、一般的な回路構成である。中央(b)はカーボンナノチューブ(CNT)の構造図。中央上(c)はカーボンナノチューブトランジスタ(CNFET)の走査型電子顕微鏡観察像。チャンネル長は2μm。右(d)はSRAMセルの構造図。左下(e)はSRAMセルの断面図。金属配線(M1/M2/M3)の配色はSRAMセルの構造図に対応している。2019 VLSIシンポジウムの論文集から
