ASMLが開発した量産用EUVスキャナの出荷台数実績(年次)と累積出荷台数、計画出荷台数(年次)。昨年(2017年)から、出荷台数が大きく増加していることがわかる。今年(2018年)の累積出荷台数は、昨年までの約2倍となる見込み。2018年9月にASMLが国際学会「International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2018(2018 EUVL Symposium)」で講演したスライドから
