左のグラフはワード線の積層ピッチ(縦軸:ON pair)とワード線積層数(横軸)の関係。ワード線積層数を増やすとともに、積層ピッチを短くする。右のグラフは積層ピッチ(横軸)とRC遅延時間(縦軸)の関係。ワード線金属を従来のタングステン(W)から抵抗の低い金属(有力候補はモリブデン)に変更して遅延時間を短くする。キオクシアが IMW 2024で発表した論文(論文番号1.3)から
