ワード線の積層数(横軸)と記憶密度(縦軸)の関係。TLC方式のセルで推定したもの。ワード線の積層数が300層を超えると記憶密度の向上ペースが鈍化し、1,000層になっても目標の100Gbit/平方mmに届かない。積層数が増加すると、ワード線を垂直に引き出す電極(垂直電極)の領域(ステアケース)が拡大し、記憶密度の向上を阻害する。キオクシアが IMW 2024で発表した論文(論文番号1.3)から