試作したMRAMマクロの断面観察像。MTJの直径は41mm。M1(第1金属配線)の最小ピッチは64nmだが、MTJを作り込んだ部分はM1の幅を広げている。IBMがIEDM 2020で発表した論文(論文番号11.5)から

試作したMRAMマクロの断面観察像。MTJの直径は41mm。M1(第1金属配線)の最小ピッチは64nmだが、MTJを作り込んだ部分はM1の幅を広げている。IBMがIEDM 2020で発表した論文(論文番号11.5)から