試作したシリコンダイの概要。左上(a)はシリコンダイ写真。左下(b)はシリコンダイの一部を光学顕微鏡によって拡大観察した画像。中央下(c)はイメージセンサーによる撮影画像の輪郭(エッジ)を検出するCNFET回路と、イメージセンサーの電流出力を電圧出力に変換するCNFET。右下(d)はCMOSインバータの観察像。右下(e)はCNFETの構造模式図(上)とチャンネルのCNTを走査型電子顕微鏡で観察した画像(下)。右上(f)は回路図の概略。青色が第1層、緑色が第2層、赤色が第3層に対応する。右中央(g)は3次元構造の模式図。2019 VLSIシンポジウムの論文集から

試作したシリコンダイの概要。左上(a)はシリコンダイ写真。左下(b)はシリコンダイの一部を光学顕微鏡によって拡大観察した画像。中央下(c)はイメージセンサーによる撮影画像の輪郭(エッジ)を検出するCNFET回路と、イメージセンサーの電流出力を電圧出力に変換するCNFET。右下(d)はCMOSインバータの観察像。右下(e)はCNFETの構造模式図(上)とチャンネルのCNTを走査型電子顕微鏡で観察した画像(下)。右上(f)は回路図の概略。青色が第1層、緑色が第2層、赤色が第3層に対応する。右中央(g)は3次元構造の模式図。2019 VLSIシンポジウムの論文集から