埋め込み不揮発性メモリの実現技術。大別すると、コンタクトに記憶素子を形成する技術と多層配線に記憶素子を形成する技術がある

埋め込み不揮発性メモリの実現技術。大別すると、コンタクトに記憶素子を形成する技術と多層配線に記憶素子を形成する技術がある