15nmの最小加工寸法(CD)におけるタングステンコンタクトとコバルトコンタクトの電気抵抗の比較(相対値)。タングステンコンタクトの中央値が8.59、コバルトの中央値が1.05で、単純比較では電気抵抗が87％も低減できている。またタングステンコンタクトは抵抗値のばらつきが10.32と非常に大きいのに対し、コバルトコンタクトは抵抗値のばらつきが0.06と極めて小さい。ばらつきが小さいので、回路設計ではコンタクトにおける遅延時間の設計値を大幅に短くできる。半導体製造装置の大手ベンダーであるApplied Materialが2018年6月5日に公表した資料から