タングステンのコンタクト(タングステンコンタクト)とコバルトのコンタクト(コバルトコンタクト)で金属部分の体積を比較した。縦軸は金属の幅、横軸はコンタクトの最小加工寸法(CD、右方向が小さい)。上の青い線がコバルトコンタクト、下の黒い線がタングステンコンタクト。15nmの最小加工寸法で比較すると、コバルトコンタクトはタングステンコンタクトの3.7倍の体積を確保できる。半導体製造装置の大手ベンダーであるApplied Materialが2018年6月5日に公表した資料から
