試作した2層オールカーボン配線の断面図(上)と断面の電子顕微鏡観察画像(下)。観察画像の右下にある白い線は2.5μmの長さを意味する。配線の幅は2μm、ビアの高さは0.7μm、CNTの直径は40nm。カリフォルニア大学サンタバーバラ校がIEDMで2017年12月に発表した論文から
