多層グラフェン(MLG)とカーボンナノチューブ(CNT)の接続(コンタクト)部分。コンタクト部分にニッケル(Ni)の薄膜(黄緑色の部分、厚みは5nm)を挟んでおき、アニール(電流アニール)することでニッケルとカーボンの合金を形成し、コンタクトの抵抗を下げている。カリフォルニア大学サンタバーバラ校がIEDMで2017年12月に発表した論文から

多層グラフェン(MLG)とカーボンナノチューブ(CNT)の接続(コンタクト)部分。コンタクト部分にニッケル(Ni)の薄膜(黄緑色の部分、厚みは5nm)を挟んでおき、アニール(電流アニール)することでニッケルとカーボンの合金を形成し、コンタクトの抵抗を下げている。カリフォルニア大学サンタバーバラ校がIEDMで2017年12月に発表した論文から