第1層金属配線のアルミニウム(銅添加)配線と銅配線のシート抵抗(実験結果)。配線ピッチは0.63μm、配線幅は0.32μmである。IBMが20年前の1997年12月に国際学会IEDMで発表した論文(講演番号31.3)から。配線抵抗が25%低下し、配線容量が15%低下したと論文は述べている

第1層金属配線のアルミニウム(銅添加)配線と銅配線のシート抵抗(実験結果)。配線ピッチは0.63μm、配線幅は0.32μmである。IBMが20年前の1997年12月に国際学会IEDMで発表した論文(講演番号31.3)から。配線抵抗が25%低下し、配線容量が15%低下したと論文は述べている