EUV露光による先端ロジックと先端DRAMの量産がついにはじまる(7/12)

ASMLにおけるEUV露光装置(スキャナ)の開発実績。2013年に出荷を開始した「NXE:3300B」を、最初の量産用装置とASMLは位置づけている。ASMLの公表資料を元に筆者がまとめた