VLSIシンポジウムで、2nm以降のデバイスを支えるFETや配線、メモリなどの革新技術(12/32)

デバイスプロセス技術分野の注目論文一覧。2022年4月22日に日本のVLSIシンポジウム実行委員会がオンライン開催した報道機関向け説明会の発表スライドから