VLSIシンポジウムで、2nm以降のデバイスを支えるFETや配線、メモリなどの革新技術(11/32)

発表機関別の採択論文数の推移(2022年～2013年)。2022年4月22日に日本のVLSIシンポジウム実行委員会がオンライン開催した報道機関向け説明会の発表スライドから