第2世代ePCM技術で製造した16MBマクロの製造歩留まりの推移。100%に近い製造歩留まりを得ている。IEDM 2020の発表論文(講演番号24.2)から

第2世代ePCM技術で製造した16MBマクロの製造歩留まりの推移。100%に近い製造歩留まりを得ている。IEDM 2020の発表論文(講演番号24.2)から