Carl Zeiss SMTのオーバーコッヘン工場に新しく建設している高NA光学系開発棟の計画図。3つの建屋を建築することがわかる。2018年6月に同社が国際学会「2018 EUVL Workshop」で公表したスライドから

Carl Zeiss SMTのオーバーコッヘン工場に新しく建設している高NA光学系開発棟の計画図。3つの建屋を建築することがわかる。2018年6月に同社が国際学会「2018 EUVL Workshop」で公表したスライドから