Carl Zeiss SMTのオーバーコッヘン工場で建設中の高NA光学系開発棟の様子。2017年10月に撮影したもの。3つの建屋がかなり出来上がっているのが確認できる。2018年6月に同社が国際学会「2018 EUVL Workshop」で公表したスライドから
