開発が本格化する次世代EUV露光技術、3nm以降の微細化を主導(19/21)

真空容器の扉を開けて作業している様子(左)と、反射鏡を扱うロボットクレーン(右)。2018年6月にASMLが国際学会「2018 EUVL Workshop」で公表したスライドから