Carl Zeiss SMTのオーバーコッヘン工場に新しく建設された開発棟に、EUV光学系開発用の真空容器が納品されたときの様子。左は納品された真空容器をクレーンで吊り上げているところ。右は真空容器の外観。人物と比べると、その大きさがわかる。2018年9月にASMLが国際学会「EUVL Symposium」で公表したスライドから
