次世代EUV露光装置の開発拠点。左からASMLのウィルトン(Wilton)工場、フェルドホーヘン(Veldhoven)工場、サンディエゴ(San Diego)工場。右端はCarl Zeiss SMTのオーバーコッヘン(Oberkochen)工場。ASMLが2018年12月に国際学会「IEDM」のショートコースで公表したスライドから
