185枚/hのスループットとハーフフィールド(26mm×16.5mm)を前提にした、実際のスループットの変化。フルフィールドに9枚のシリコンダイを収容する場合を想定したもの。2018年9月にASMLが国際学会「EUVL Symposium」で公表したスライドから
