開口数(NA)が0.55のEUV露光とNAが0.33のEUV露光におけるハーフピッチとスループットの関係。SEはシングル露光、LE2はダブル露光(LELE : リソグラフィ-エッチング-リソグラフィ-エッチング)、LE3はトリプル露光(LELELE)である。ASMLが2018年11月にアナリスト向け説明会で公表したスライドから
