露光技術とマルチパターニング(多重露光)の組み合わせによる、1層のパターン加工に必要な製造コストの違い(相対値)。ArF液浸(ArFi)のトリプル露光(LE3)と、NAが0.33のEUVのシングル露光(LE)がほぼ近い水準にある。EUV露光の基本的なコストが、ArF液浸露光に比べると高いためだ。同じEUVで比較すると、NAが0.33のEUVのダブル露光(LE2)よりも、NAが0.55のEUVのシングル露光(LE)はコストがかなり低くなる。ASMLが2018年11月にアナリスト向け説明会で公表したスライドから

露光技術とマルチパターニング(多重露光)の組み合わせによる、1層のパターン加工に必要な製造コストの違い(相対値)。ArF液浸(ArFi)のトリプル露光(LE3)と、NAが0.33のEUVのシングル露光(LE)がほぼ近い水準にある。EUV露光の基本的なコストが、ArF液浸露光に比べると高いためだ。同じEUVで比較すると、NAが0.33のEUVのダブル露光(LE2)よりも、NAが0.55のEUVのシングル露光(LE)はコストがかなり低くなる。ASMLが2018年11月にアナリスト向け説明会で公表したスライドから