トランジスタ(MOS FET)を出発した電気信号が、別のトランジスタ(MOS FET)に到着するまで(模式図)。MOS FETのソース/ドレインからコンタクト、第1層金属配線と第2層金属配線を経由して別のトランジスタのゲートに至るまでの経路を図示した。コンタクトの金属はタングステン、ビアと配線の金属は銅

トランジスタ(MOS FET)を出発した電気信号が、別のトランジスタ(MOS FET)に到着するまで(模式図)。MOS FETのソース/ドレインからコンタクト、第1層金属配線と第2層金属配線を経由して別のトランジスタのゲートに至るまでの経路を図示した。コンタクトの金属はタングステン、ビアと配線の金属は銅